Achromatic Interferometric Lithography的意思|示意
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消色差干涉光刻
Achromatic Interferometric Lithography的网络常见释义
消色差干涉微影 消色差干涉微影(Achromatic Interferometric Lithography, AIL) 因为传统干涉微影受限于光源空间和时间同调性，所能产生 的大面积最小周期线幅约为100奈米。