Advanced Oxide Etch的意思|示意
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高级氧化物蚀刻
Advanced Oxide Etch的网络常见释义
先进氧化物刻蚀 另一种是使用先进氧化物刻蚀（Advanced Oxide Etch，AOE），AOE使用平面电感耦合射频（13.56MHz）等离子圈，在腔体侧壁具有多极磁约束力，并使用高度真空...