Alternating Phase Shift Masks的意思|示意
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交替相移掩模
Alternating Phase Shift Masks的网络常见释义
交互相移掩模 使用相似光学仪器（尽管与我们所举的例子不太一样），Intel设计出了被称为交互相移掩模（Alternating Phase Shift Masks）技术来实现在硅集成电路上蚀刻超小feature为了65纳米生产。
相互相移掩模技术 相互相移掩模技术(Alternating Phase Shift Masks) 增强型应变硅技术从材料学方面改善了65nm 处理器的电气特性,而相互相移掩模技术则从 制造流程方面使65nm工艺更为成熟可靠。