Auto-rotation Development的意思|示意
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自动旋转的发展
Auto-rotation Development的网络常见释义
自动旋转显影 ...显影液消耗很大；显影的均匀性差；b、连续喷雾显影（Continuous Spray Development）/自动旋转显影（Auto-rotation Development）。一个或多个喷嘴喷洒显影液在硅片表面，同时硅片低速旋转（100～500rpm）。