Chemical Mechanical Polish的意思|示意
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化学机械抛光
Chemical Mechanical Polish的网络常见释义
化学机械研磨 本文通过对半导体制造工艺中化学机械研磨（chemical mechanical polish）工艺中的研磨环、氨水和纯水的使用分析，提出晶圆厂物料循环使用..
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1、 chemical-mechanical polish 化学坏抛光法一种去掉圆片表面某种物质的方法