Compatibility with CMP Process的意思|示意

程的相容性 ...modulus)、低热膨胀系数(coefficient ofthermal expansion; CTE)、与化学机械研磨制程的相容性(compatibility with CMP process)等等。然而,目前似乎不太容易找出完全具备上述优良特性的完美低介电常数材料。

机械抛光工艺的兼容性 ...rization） 低热涨系数（coefficient of thermal expansion） 化学机械抛光工艺的兼容性（compatibility with CMP process） 能够满足上述特性的完美的低介电常数材料并不容易获得。例如，薄 膜的介电常数与热传导系数往往就呈反比关系。