DBD-CVD的意思|示意
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DBD-CVD的网络常见释义
气相沉积法 采用介质阻挡化学气相沉积法(DBD-CVD)在Si及石英衬底上、室温下成功的沉积出光滑、致密、均匀、膜基结合较好的类金刚石(DLC)薄膜,并考察了电源电压对类金刚石薄膜结构...