E-Beam Scanning的意思|示意
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电子束扫描
E-Beam Scanning的网络常见释义
电子束扫描法 电子束扫描法(E-Beam Scanning)采用电子束对抗蚀剂进行曝光，由于高速的电子具有较小的波长， 分辨率极高。
E-Beam Scanning相关短语
1、 e beam scanning 电子束扫描
2、 accurate e beam scanning method 精确波束扫描法