Film thickness monitor option的意思|示意
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薄膜厚度监控器选项
Film thickness monitor option的网络常见释义
膜厚监控 • Film thickness monitor option 膜厚监控(选项),可通过腔室内的晶振片装置测量镀膜厚度,也可预设厚度去控制材料沉积在样品上的膜厚度,达到需要的镀膜厚度时,镀膜仪可...