Fluorine-to-Carbon Ratio Model的意思|示意
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氟碳比模型
Fluorine-to-Carbon Ratio Model的网络常见释义
氟碳比模型 氟碳比模型(Fluorine-to-Carbon Ratio Model) 在氟碳化物的等离子中，氟的作用是与基材表面反应，产生挥发性的产物，并借由真空设备带出腔体外，因此当氟的成份增加时，刻蚀速...