Inverse Lithography Technique的意思|示意

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逆光刻技术


Inverse Lithography Technique的网络常见释义

逆向光刻算法 ...ximity Correction) [4-5] 和通过对整个掩膜版图形设计区域进行全局优化的逆向光刻算法(ILT,Inverse Lithography Technique) [6-7] 。