Ionic Beam Sputter Deposition的意思|示意

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离子束溅射沉积


Ionic Beam Sputter Deposition的网络常见释义

离子束溅射沉积 离子束溅射沉积(Ionic Beam Sputter Deposition, IBSD)是指在真空之下,以高 能粒子撞击靶材,使其以原子、分子、原子团、分子团及离子之型态沉积于基材 表面,...