Large Exposure Gap Optics的意思|示意

美 / / 英 / /

大曝光间隙光学


Large Exposure Gap Optics的网络常见释义

配备高曝光间距光学系统 配备高曝光间距光学系统(Large Exposure Gap Optics,LEGO)的全场域曝光对准机(Full Field Exposure Mask Aligner)之设计,系用来...