Line width roughness的意思|示意

线宽粗糙度 机械工程学报 01) 摘要： 给出采用原子力显微镜(Atomic force microscope，AFM)测量线宽粗糙度(Line width roughness，LWR)的分析步骤。分析线宽和LWR及其偏差随刻线横截面位置的高度变化的关系，线宽及其偏差和LWR及其偏差随

测量线宽粗糙度 机械工程学报 01) 摘要： 给出采用原子力显微镜(Atomic force microscope，AFM)测量线宽粗糙度(Line width roughness，LWR)的分析步骤。分析线宽和LWR及其偏差随刻线横截面位置的高度变化的关系，线宽及其偏差和LWR及其偏差随

以及线宽粗糙度 ...百科大全,百科知识网 photosensitivity），线边沿粗糙度（Line Edge Roughness，LER），以及线宽粗糙度（Line Width Roughness，LWR）等。目前超紫外线光阻的敏感性和光学穿透率使得超紫外线光源的可用频宽超紫外线光阻剂性能订在2 %以内。