Load Lock Chamber的意思|示意
负载锁定室
Load Lock Chamber的网络常见释义
真空交换舱 · 真空交换舱(Load Lock Chamber)：玻璃基版被加载第一个舱体，抽成第一级的真空，同时借此位置借由机械帮浦排除一些可能的污染，以便进行第二级真空舱的进入准备...
负荷固定舱 此次通过对放置晶圆的运送盒、搬运机器人、以及 负荷固定舱 （ load lock chamber ）的气流控制等采取独自的措施，能够自动运送薄晶圆。
腔体 具有晶片输送腔体(Load Lock Chamber)，可有效的节省制程时间。 2.
下料腔 5Torr-10Torr（碟阀控制时）上/下料腔（load lock chamber）：0。5Torr-10Torr
Load Lock Chamber相关短语
1、 load-lock chamber 加载互锁真空室 ; 承重砖 ; 负载调整
Load Lock Chamber相关例句
The load lock chamber may be provided with at least two mutually distinct object support positions.
所述装载锁闭装置室设有至少两个彼此不同的物体支承位置。