Multilevel-Multilayer Metallization的意思|示意

美 / / 英 / /

Multilevel-Multilayer金属化

多层布线技术 ... 形成稳定接触界面 降低电阻率半导体工艺技术第十二章工艺集成 19 多层布线技术（Multilevel-Multilayer Metallization）器件制备介质淀积结束金属化平坦化接触及通孔的形成是否最后一层钝化层淀积是否半导体工艺技术第十二章工艺集成 20...