Optical Emission End Point Detector的意思|示意
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光学发射终点探测器
Optical Emission End Point Detector的网络常见释义
激发光终点侦测器 激发光终点侦测器（Optical Emission End Point Detector） 用一光谱接受器，接受蚀刻反应中某一反应副产物（Byproduct）所激发之光谱，当蚀刻反应逐渐完成，此副产物减少，光谱也渐渐变弱...