Optical MEMS的意思|示意

微光学 标题：微光学(Optical MEMS)ppt

微光机电系统 摘要: 我们实验主要将 微光机电系统 （ Optical MEMS ）之技术，应用在光学读取头上，制作出微光学元件，包含Grating、Hologram optical element（HOE）和Fresnel lens等等。

光学MEMS MEMS技术与光学技术的结合被称为光学MEMS（Optical MEMS），也称为MOEMS（MOEMS：Micro Opto-Electro-Mechanical System），是MEMS技术的一个重要分支。

光学式微机电系统 ...MS (微机电制程技术) • MEMS applications (微机电应用領域) – Bio-MEMS(生医微机电系统) – Optical MEMS (光学式微机电系统) – RF (Radio frequency) MEMS (射频式微机电系统) – Computer Peripheral MEMS (电脑相关周边) – Nanotechnology (奈米科学与...