PMD CMP的意思|示意
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PMD CMP
PMD CMP的网络常见释义
层间介质平坦化 C．层间介质平坦化(PMD CMP) ILD 为实际器件提供IMD层的金属连线的绝缘层,ILD氧化层包括一层薄氮化硅或氮氧化硅,用做器件保护层和金属连线的阻挡层,其上面是...