Post-CMP Cleaning Process的意思|示意
美 / /
英 / /
cmp后清洗过程
Post-CMP Cleaning Process的网络常见释义
清洗制程 ...界面间研磨颗粒的受力及对晶圆表面材料的穿透状况，因此也将此模式延伸至化学机械研磨后 清洗制程 （ Post-CMP Cleaning Process ）及化学机械研磨制程终点检测技术（CMP Endpoint Detection Technology）的开发上。