Pre-amorphization Implantation的意思|示意
美 / /
英 / /
Pre-amorphization植入
Pre-amorphization Implantation的网络常见释义
采用预非晶化掺杂 从离子注入的角度讲,采用预非晶化掺杂(Pre-amorphization Implantation, PAI)和共同离子注入(Co-implant),降低注入深度,抑制隧道效应(Channeling),以便减少...