PreExposure Bake的意思|示意
美 / /
英 / /
预曝光烤
PreExposure Bake的网络常见释义
曝光前烘烤 光阻软烤(Soft Bake)或称曝光前烘烤(Pre-Exposure Bake),主要是 将晶片上的光阻溶剂从光阻里驱除,使光阻由原本液态经软烤后,变