Sacrifical Layer的意思|示意
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牺牲层
Sacrifical Layer的网络常见释义
牺牲层 ...，从而得到上层薄膜并在硅平面形成一个空腔结构、多晶硅梁、甚至可动部件， 去除的部分薄膜称之为“牺牲层”（Sacrifical Layer）。