de-scumming的意思|示意
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清除浮渣
de-scumming的网络常见释义
等离子体对样品整体处理 ... 用O2 等离子体对样品整体处理，以清除显影后可能的非望残留叫de-scumming 基板界面处残留聚合物薄层，这个问题在结构小于1um ...