dopant activation的意思|示意

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杂物活化 该设备包括可将所有的制程步骤, 包括闸极氧化(gate oxidation), 搀杂物活化(dopant activation), 多晶化手续(..

掺杂活化 在形成超浅型接面的例子 中,它的热制程主要目的则是掺杂活化 (Dopant Activation),所以我们要设计出一个 有选择性的回火程式,以其达到主要热制程 目的,然后再想法降低热预算。