dry-box process的意思|示意

美 / drai bɔks ˈprəuses / 英 / draɪ bɑks ˈprɑsˌɛs /

干燥吸收剂法

dry-box process是指一种无液体晶圆制程，用于制造半导体器件。此过程使用干燥气体（如干氮气或氩气）来保护晶圆，以防止它受到湿度的影响。

在这个过程中，晶圆会被放置在一个叫做“干箱”的容器中，并用干燥气体进行保护。然后，会对晶圆进行加热，以达到所需的温度。之后，晶圆就可以开始制备了。

在制备阶段，干箱技术可以用于保护晶圆免受湿度带来的损害，所以它是一种非常有效的制程。干箱过程可以大大减少缺陷，同时提高半导体器件的质量，提高制程的效率。

总之，dry-box process绝对是半导体行业中一个重要的步骤，且能够有效提高半导体器件的质量，在制造过程中也有着重要的作用。