gate oxide integrity的意思|示意

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栅极氧化物完整性

栅极氧化层的完整性 ... 栅极引线：gate connection 栅极氧化层的完整性：gate oxide integrity 栅极线：gate line ...

完整性除了晶圆上之金属杂质与微粒之洗净能力外，当元件闸极氧化层厚度缩小至3毫微米时，闸极氧化层完整性 ( gate oxide integrity )与片电阻(sheet resistivity)等电性表现方面，相较于传统化学酸槽(wet bench)，单槽清洗机均有令人满意的结果。

门氧化层完整性 ... furnace 炉管 goi: gate oxide integrity 门氧化层完整性 hci: hot carrier injection 热载流子注入 ...