h-AlN的意思|示意

氮化铝 利用无水三氯化铝与叠氮化钠在无溶剂的条件下直接反应,成功地合成出六方单晶氮化铝(h-AlN)薄膜.反应温度为450℃,有效反应时间为20 h.

六方相 本文通过气相沉积的制备方法，分别研究了AlN/VN多层膜中AlN从稳定相六方相（h-AlN）转变为亚稳立方相（c-AlN）和TiN/SiC多层膜中非晶SiC晶化为立方SiC（c-SiC）的相转变过程，并讨论了两种不同结构类型的纳米多层膜...

纤锌矿 ...Al原子未饱和键的逐渐消失；沉积态薄膜呈非晶态，随着快速退火温度的升高薄膜结构发生由非晶到闪锌矿(c-AlN)最后到纤锌矿(h-AlN)的相变，在这个过程中由于相变的影响薄膜的折射率逐渐变大；PAT分析表明经1000℃／120s快速热处理后，AlN／Si界面过渡层厚度约20...