mesa etching的意思|示意

美 / ˈmeɪsə ˈetʃɪŋ / 英 / ˈmesə ˈɛtʃɪŋ /

台面蚀刻，台面腐蚀

Mesa etching是半导体工艺中常用的一种加工技术。这种技术主要用于在晶圆表面生成一个凸起的区域，以便用于制作集成电路中的器件元件。

实际上，mesa etching是通过光刻和腐蚀过程来实现的。首先，将光刻胶覆盖在晶圆表面上，然后使用光刻工艺将光刻胶形成所需图形以遮挡需要保留的区域，同时将其余部分露出来。接着，使用化学腐蚀技术将露出的区域腐蚀掉，直到达到所需的深度。最后，将光刻胶去除，就能得到期望的mesa。

其中，mesa etching的用途主要包括：

1.用于制作PN结的阳极处理。

2.用于制作基底的接触和金属电极。

3.用于制作光学设备表面。

总之，mesa etching是半导体工艺中重要的一种加工技术，广泛应用于集成电路的制造和半导体器件的制作。

1、 the mesa etching 台面刻蚀