multi-photon photoresists的意思|示意

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多光子光阻


multi-photon photoresists的网络常见释义

一种多光子光阻剂 ...长的超紫外光(EUV),来自美国马里兰大学(University of Maryland)的研究团队则提出一种多光子光阻剂(multi-photon photoresists),能让可见光微影达到奈米等级的解析度;通常微影解析度是与曝光时间成反比。