optical proximity correction的意思|示意

光学距离校正 ... optical processor 光学处理器 optical proximity correction （OPC） 光学距离校正 optical receiver 光学接收器 ...

光学邻近效应修正 ...米微影；除非严格控管并加上解析度辅助技术，如相位移光罩(phase shift mask)、光学邻近效应修正(optical proximity correction)与偏轴照明(off-axis illumination)等技术。但无 论如何，要利用光学微影 技术达到次70奈米解析度 仍然是一大挑战。

校正 相对光学近似校正（optical proximity correction, OPC）和设计规则来说，Intel的模型技术更进一步，可以采用名义上落后一个工艺代的设备制造芯片。

光学近似修正 IBM认为，通过光学近似修正（Optical Proximity Correction，OPC）技术，硅基底和SOI模块均可采用248纳米步进机（Stepper），而不需使用较昂贵的193纳米微影...