plasma source ion implantation的意思|示意
美 / ˈplæzmə sɔ:s ˈaɪən ˌimplɑ:nˈteiʃən /
英 / ˈplæzmə sɔrs ˈaɪən ˌɪmplænˈteʃən /
等离子体源离子注入