selective carbon milling的意思|示意
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选择性碳铣削
selective carbon milling的网络常见释义
和蚀刻碳基高分子的气体 ...机台还配备五种制程气体可以沉积Pt、W和 SiO2，蚀刻矽与二氧化矽的XeF2气体，和蚀刻碳基高分子的气体(selective carbon milling, SCM)，未来可应用这些精密奈米制造技术在元件技术。