vapor phase epitaxy的意思|示意

汽相外延 ...上灯饰灯具商城 生长外延材料的实现方法有多种，其中包括液相外延(Liquid Phase Epitaxy，LPE)、汽相外延(Vapor Phase Epitaxy，VPE)、分子束外延(Molecular Beam Epitaxy，MBE)和..

气相磊晶法 ... 分子束磊晶（Molecular Beam Epitaxy，MBE） 气相磊晶法（Vapor Phase Epitaxy，VPE） 氢化物气相磊晶法（Hydride vapor phase epitaxy，HVPE） ...

相外延 3.2 气相外延  硅气相外延(vapor phase epitaxy，VPE )，指 含Si外延层材料的物质以气相形式输运至衬底， 在高温下分解或发生化学反应，在单晶衬底上生 长出...

气相外延生长 ...片表面就可以沉积一层新的晶体 LPE方法简单、廉价，但外延层的质量不高 IC制造工艺 • 气相外延生长（VPE，Vapor Phase Epitaxy） VPE是在气体环境下在晶体表面进行外延生长 常用的方法是卤素传递生长法 硅片放在反应器中的石墨基座...