Anisotropic etch的意思|示意

美 / əˌnaisəuˈtrɔpik etʃ / 英 / ænˌaɪsəˈtrɑpɪk ɛtʃ /

蛤异性腐蚀


Anisotropic etch的用法详解

英语单词Anisotropic etch的用法讲解

Anisotropic etch,即各向异性蚀刻,是工艺中常用的材料刻蚀方法。它是一种可以沿着固体材料的晶体结构刻蚀的方法,相比于其它任意方向刻蚀的方法(即非晶蚀),它在刻蚀时能获得更深的比例和更少的粗糙度。

在微电子产品工艺中,Anisotropic etch通常用于刻蚀晶体硅材料,以获得所需的几何形状。例如,它可以用于直接刻蚀微晶硅表面,从而实现制造小型内部槽及其他形状的功能。

除了晶体硅,Anisotropic etch也可以用于其它类型的材料,包括某些陶瓷材料,如硅酸盐陶瓷和碳化硅陶瓷。各向异性蚀刻还可以用于晶体镁等金属材料。

Anisotropic etch有几种常见的方法,包括化学气相蚀刻(CMP)和溶剂蚀刻(SPE)。在其中一种方法中,将化学物质涂在材料表面,然后使用液体或气体流动来腐蚀材料,从而达到刻蚀的目的。在另一种方法中,溶剂会被用来腐蚀材料,以达到所需形状。

Anisotropic etch在多种工艺中,如电子元件制造、精密机械零部件制造等,都可以得到利用。它能够获得更深的比例和更少的粗糙度,是许多刻蚀需求者的首选。

Anisotropic etch相关短语

1、 anisotropic etch property 蛤异性腐蚀性质

2、 anisotropic etch profile 蛤异性腐蚀断面图

3、 Anisotropic Etch-Stop 各向异性停蚀技术

4、 anisotropic etch contour 蛤异性腐蚀断面图

5、 anisotropic etch of silicon 硅的各向异性腐蚀

6、 anisotropic U etch 蛤异性腐蚀

7、 anisotropic U etch profile 蛤异性腐蚀断面图

8、 anisotropic U etch property 蛤异性腐蚀性质

Anisotropic etch相关例句

Application of TMAH solutions which is used as etchant in boron etch-stop and anisotropic etching process in the manufacturing of single-crystal and polysilicon pressure sensors is mainly discussed.

介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性,论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中,TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。

A novel method for measuring the anisotropic etch rate distributions of Si is described.

介绍了一种测定硅各向异性腐蚀速率分布的新方法。

Last, a technique known as anisotropic ion beam milling (IBM) is used to etch through the mask to make an array of holes, creating the nanoporous metal.

最后,采用各项异性的离子束(IBM)加工技术可以通过掩膜来蚀刻孔阵,以制成纳米多孔金属材料。