anisotropic etching的意思|示意

美 / əˌnaisəuˈtrɔpik ˈetʃɪŋ / 英 / ænˌaɪsəˈtrɑpɪk ˈɛtʃɪŋ /

[电子] 各向异性刻蚀


anisotropic etching的用法详解

Anisotropic etching是一种微米级或者更小结构尺度的切削技术,它利用了几种化学物质的作用,使物质在位置上形成可控的沟槽,用于制造微型的结构。 这一切削技术的核心原理是利用离子在不同物质之间有着局部电荷差的作用,从而形成沟槽。沟槽的宽度可以调节,一般可以达到几十纳米到几微米的尺度。

Anisotropic etching最常用的是在硅基板上实现电子器件尺寸的调整。 这种方法包括在硅表面上预先定义一个或者多个键线,将它们放入相应的混合物,再让其作用于硅表面,这时硅表面上一定的位置就会形成不同深度的沟槽。 所以,当硅基板表面有沟槽后,就可以利用这种技术在表面上实现电子器件尺寸的微米级调整。

此外,由于Anisotropic etching也具有较低的成本,相比其他技术,它在微机电系统(MEMS)的制造以及微型传感器的制作上也有着广泛的应用。 除了电子零件尺寸的调整,它还可以用来制作表面焊接和多层结构,从而制作出许多高精度的小型零件和电子装置。

总的来说,Anisotropic etching技术不仅可以节省制造成本,而且还可以制造出高精度的微米电子器件。 对于电子产品制造、微机电系统以及智能设备来说,这是一项非常有用的技术,可以大大提高制造效率,实现产品的性能优化。

anisotropic etching相关短语

1、 KOH anisotropic etching KOH各向异性腐蚀

2、 wet anisotropic etching 各向异性腐蚀

3、 silicon anisotropic etching 硅的各向异性腐蚀

4、 maskless anisotropic etching 无掩模各向异性腐蚀

5、 anisotropic etching technology 各向异性腐蚀

6、 anisotropic etching of si 硅各向异性腐蚀

7、 anisotropic etching of silicon 硅各向异性腐蚀技术

8、 wet anisotropic etching process 各向异性腐蚀

anisotropic etching相关例句

This paper has Studied anisotropic etching mechanism of St in KOH scution by using collision theory.

本文应用碰撞理论研究了硅在KOH溶液中各向异性腐蚀的机理.

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It has advantages of sample structure, low damage and anisotropic etching.

该装置具有结构简单, 低损伤和各向异性刻蚀的优点.

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