Edge Bead Removal的意思|示意
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边珠去除
Edge Bead Removal的网络常见释义
边缘光刻胶的去除 ... 4、软烘（Soft Baking） 5、边缘光刻胶的去除（EBR，Edge Bead Removal）。 6、对准（Alignment） ...
缘光刻胶的去除 ...目的：除去溶剂（4～7）；增强黏附性；释放光刻胶膜内的应力；防止光刻胶玷污设备；边缘光刻胶的去除（EBR，Edge Bead Removal）。光刻胶涂覆后，在硅片边缘的正反两面都会有光刻胶的堆积。
Edge Bead Removal相关短语
1、 optical edge bead removal 晶圆边缘曝光球状物去除