Edge Bead Roval的意思|示意
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边珠圆
Edge Bead Roval的网络常见释义
边沿光刻胶的去除 ... ℃,30~60秒;目的:祛除溶剂(4~7%);增强黏附性;开释光刻胶膜内的应力;防止光刻胶玷辱设备;边沿光刻胶的去除(EBR,Edge Bead Roval)。光刻胶涂覆后,在硅片边沿的正反两面城市有光刻胶的堆积。