Poly-SiGe的意思|示意

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多晶硅锗多晶矽锗 ( poly-SiGe )的相关研究则开始于 90 年代初期，主要是沈积于表面绝缘的基板上，如玻璃或热氧化层(thermal oxide)，由于沈积条件不若磊晶薄...

多晶锗硅 CMEMS技术使用多晶锗硅(poly-SiGe)作为MEMS结构材料(参考文献2)。由于其热特性兼容CMOS后端处理工艺，因此这种材料适用于CMOS。