SiGe-gate的意思|示意
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SiGe-gate的网络常见释义
硅锗闸 在闸级材料方面，近一二年则有新的金属闸(Metal Gate)，矽锗闸(SiGe-gate)等， 其中金属闸则有低阻值，无硼穿透等好处。在超浅接面及金属矽化物方面则会朝 向<500Å 深及钴金属矽化物制程。