VHF-PECVD的意思|示意
VHF-PECVD的网络常见释义
甚高频电源 按等离子体激发电源区分，有射频电源（RF-PECVD）、甚高频电源（VHF-PECVD）按样品安放结构区分，有管式PECVD和平板式PECVD等。
积法 本文的目的是研究利用甚高频等离子体增强化学气相沉积法 （VHF-PECVD）制备微晶硅P、i和n型薄膜和柔性太阳能电池。研究了不同硅 烷浓度、辉光功率、气体气压和衬底温度对微晶薄膜的结构、沉积速率和电...
技术 但目前应用最多的，只有射频等离子体增强化学气相沉积技术（RF．PECvD）、 甚高频等离子体增强化学气相沉积技术（VHF-PECVD）和热丝化学气相沉积技术 （HWCVD）这类高速沉积技术。 采用高速沉积技术主要是从制备微晶硅薄膜太阳能电池的方面考虑的。
VHF-PECVD相关短语
1、 VHF PECVD 甚高频等离子体化学气相沉积
VHF-PECVD相关例句
Series of microcrystalline silicon thin films were fabricated by VHF-PECVD at different substrate temperatures (Ts).
采用VHF-PECVD技术制备了不同衬底温度的微晶硅薄膜样品。
The electrical and structural properties of microcrystalline silicon thin film and solar cells fabricated by VHF-PECVD were studied.
本文对VHF PECVD制备的本征微晶硅薄膜和电池进行了电学特性和结构特性方面的测试分析研究。
Microcrystalline silicon thin films prepared at different deposition parameters using very high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (VHF-PECVD).
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了不同衬底温度的微晶硅薄膜。