Rapid Thermal Processing的意思|示意

快速热处理 其中快速热处理(rapid thermal processing)之相关设备,近年来在大面积,高密度及单晶圆处理(single-wafer processing)的趋势下日形重要.

快速高温处理 ... 全球微蚀刻技术（Microlithography） 快速高温处理（Rapid Thermal Processing） 蚀刻（Etching） ...

温制程 即使迅速高温制程(rapid thermal processing,rtp)之事情温度规模与多晶硅及磊晶硅制程有部分叠合,其本质差异却极大。

即使快速高温制程 高温制程_互动百科 硅两种薄膜的应用状况虽然不同，却都是在类似的制程反应室中经高温（600℃至1200℃）沉积而得。 即使快速高温制程（Rapid Thermal Processing, RTP）之工作温度范围与多晶硅及磊晶硅制程有部分重叠，其本质差异却极大。RTP并不用来沈积薄膜，而是用来修正