rapid thermal process的意思|示意

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制程 -以硒元素搭配快速热处理制程 (rapid thermal process)的硒化技 术，代表厂商有德国的Shell公 司，利用此技术必须注意专利问 题。

的快速热处理 欢迎访问科学通报 端麟 快速热处理多孔硅的蓝光发射 对多孔硅样品进行了各种气氛下(氮气、氩气、氧气和空气)的快速热处理(rapid thermal process, RTP). 测试了RTP处理前和处理后多孔硅样品的光致发光(PL)谱和傅里叶变换红外光谱(FTIR). 在4

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