rapid thermal annealing的意思|示意

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快速热退火

rapid thermal annealing的网络常见释义

快速热退火 ... L引言 为了获得大规模和超大规模集成电路工艺所需要的p+一n浅结,利用分子离子BF犷注人结合快速热退火(RaPid Thermal Annealing,RTA)是一种有效的途径,因而引起了各国学者的重视氏刀.然而,BF才注人多晶硅薄膜及其退火行为研究得较少囚.

快速退火 ...击穿电压；快速退火[gap=1310]Key words: AlN thin films; magnetron sputtering; breakdown voltage; rapid thermal annealing(RTA)...

快速热处理 实验比较了常规热处理(conventional thermal annealing,CTA)和快速热处理(rapid thermal annealing,RTA)方式,用X射线衍射和能量散射X射线能谱研究了热处理方式和热处理制度对薄膜方阻的影响,分别得到了CTA...

rapid thermal annealing相关短语

1、 rapid thermal annealing process 快速加热退火制作工艺 ; 快速退火工艺

2、 rapid thermal annealing rta 快速热退火

3、 vacuum rapid thermal annealing 真空快速热退火