rapid thermal processors的意思|示意

快速热处理器 高温炉 长度方向上的温度。这就使高温炉在IC制造中成为非常关键的因素。高温炉有三种：传统的水平方向式高温炉、垂直式高温炉和快速热处理器（RTP,rapid thermal processors）。 直到上世纪80年代中期,半导体工业主要采用热墙水平式扩散高温炉。之后,垂直式高温炉开始取代水

处理器 高温炉 长度方向上的温度。这就使高温炉在IC制造中成为非常关键的因素。高温炉有三种：传统的水平方向式高温炉、垂直式高温炉和快速热处理器（RTP,rapid thermal processors）。 直到上世纪80年代中期,半导体工业主要采用热墙水平式扩散高温炉。之后,垂直式高温炉开始取代水

快速热处理 烧结工艺对薄片单晶硅太阳电池弯曲的影响--《太阳能学报》2009年05期 电池弯曲的影响 孙振华 杨德仁 朱鑫 汪雷 李晓强 曾俞衡 阙端麟 【摘要】： 通过在快速热处理(Rapid Thermal Processor,RTP)炉中模拟铝背烧结过程,研究了升温速率、烧结温度和降温速率等烧结工艺参数对薄片单晶硅太阳电池弯曲的影响